系主任\所长：

魏少军

 党委书记：

蔡 坚

副系主任\副所长：`

吴华强、池保勇、尹首一             党委副书记：                             杨 轶

学术委员会：

                    主任：

王志华

        副主任：

钱  鹤

许  军

         委员： 

魏少军、钱鹤、王燕、 王志华、李宇根 、任天令、王喆垚、陈炜、许军

教学委员会：

                   主任：

魏少军

        副主任：

池保勇

王喆垚

         委员： 

魏少军、池保勇、王喆垚、王燕、钱鹤、张进宇、刘雷波、王志华、姜汉钧

固体器件与集成技术研究室

 主  任：

潘立阳

副主任：

王  敬

集成电路与系统集成设计研究室

 主  任：

张  春

副主任：

池保勇

CAD技术研究室

 主  任：

尹首一

副主任：

张进宇

微纳器件与系统研究室

 主  任：

陈  炜

副主任：

王喆垚

微纳电子加工平台

 主  任：

吴华强

副主任：

伍晓明

王  谦

综合办公室

 主  任：

韦  莹

业务办公室

 主  任：

    吴行军