微电子所成立于1980年，其前身是原无线电电子学系1957年创办的半导体教研组，是专门从事微电子学和纳电子学领域高层次人才培养和科学研究的机构。微纳电子系建于2004年，是清华大学微纳电子学科的教学和科研机构，主要从事前沿科学研究，产出对本学科有重大影响的科研和学术成果，培育微电子和纳电子领域的学术大师和优秀人才。三十多年来，微纳电子系/微电子所在我国半导体及集成电路发展史上取得了一系列代表国家水平、具有标志性的成果，为中国的半导体事业发展做出了突出贡献，累计获国家奖励9项，省部级奖励30多项。微纳电子系/微电子所下设有固体器件与集成技术研究室、集成电路与系统设计研究室、微纳器件与系统研究室和CAD技术研究室四个研究室和微纳电子技术支撑平台。2019年共有教职工78人，其中教授、研究员18人，副教授、副研究员、高级工程师和高级实验师36人。经过三十多年的发展，微纳电子系/微电子所形成了微纳电子学和集成电路与系统两个研究方向，建立了比较完善的硅基微电子研究体系，培养了大批高素质的优秀人才，是中国微纳电子学科研和人才培养的重要基地之一。