2010年底，微电子学研究所建立了微纳加工平台，目标是建设成一个“开放式、多目标的科研教学实验平台”。平台在学校设备处的指导和支持下，服务于校内外各个科研单位，运行更加高效、管理更加规范。平台现有超净面积约1200平方米，总体为千级，其中包含百级超净间100平方米，有全职工作的实验技术人员23人；平台现有各类设备120多台，总设备资产约1亿元人民币；超过40万的设备为20余台，计5000多万元。
目前，微纳加工技术已经远非微电子领域专属的加工技术，被广泛地应用在包括物理、化学、生物、材料、电子、医疗、精仪、机械等众多基础研究和应用研究领域，成为一个典型的跨学科基础技术。通过共享的先进微纳加工设备与环境，将跨学科的研究团队聚集在同一个物理空间，达到促进学科交叉，孕育创新的想法和取得高水平的研究成果的目的。
微纳加工平台鼓励学生亲自动手使用各种设备，大力培养学生的动手能力，为培养创新型复合人才提供一个重要的基地。（http://tnf.ime.tsinghua.edu.cn） |
